Markt für Halbleitermess- und Inspektionsgeräte – Wachstum, Trends, Auswirkungen von COVID-19 und Prognosen (2023 – 2028)

Der globale Markt für Halbleitermess- und Inspektionsgeräte ist nach Typ (Lithographie-Messtechnik (Overlay, Dimensionsgeräte, Maskeninspektion/Messtechnik), Wafer-Inspektion, Dünnschichtmesstechnik) und Geografie unterteilt.

Markt-Snapshot

Semiconductor Metrology / Inspection Equipment Market
Study Period: 2019- 2026
Fastest Growing Market: Asia Pacific
Largest Market: Asia-Pacific
CAGR: 4.76 %

Major Players

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*Disclaimer: Major Players sorted in no particular order

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Marktübersicht

Der Markt für Mess- und Inspektionsgeräte für Halbleiter (im Folgenden als untersuchter Markt bezeichnet) wurde im Jahr 2020 auf 4.164,7 Millionen USD geschätzt, und es wird erwartet, dass er bis 2026 5.373,4 Millionen USD erreichen wird, was einer CAGR von 4,76 % im Zeitraum 2021-2026 entspricht (im Folgenden als Prognosezeitraum bezeichnet). Der Ausbruch von COVID-19 auf der ganzen Welt hat die Lieferkette und Produktion des Marktes für Halbleitermess- und Inspektionsgeräte in der Anfangsphase des Jahres 2020 erheblich gestört. Für Halbleiterhersteller waren die Auswirkungen schwerwiegender. Aufgrund von Arbeitskräftemangel haben viele der Akteure in der Halbleiter-Lieferkette auf der ganzen Welt ihren Betrieb reduziert oder sogar eingestellt. Dies hat zu einem Engpass für Endproduktunternehmen geführt, die von Halbleitern abhängig sind

  • Zu den Messinstrumenten für Halbleiter gehören unter anderem Ionenmühlen, CV-Systeme, Interferometer, Source Measure Units (SME), Magnetometer, optische und bildgebende Systeme, Profilometer, Reflektometer, Widerstandssonden, hochenergetische Widerstandselektronenbeugungssysteme (RHEED) und Röntgendiffraktometer Andere.
  • Laut Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) erreichten die Lieferungen von Siliziumwafern im Jahr 2019 11.810 Millionen Quadratzoll, gegenüber 10.434 Millionen Quadratzoll im Jahr 2015. Es wird auch prognostiziert, dass die Lieferungen bis 2025 17.600 Millionen Quadratzoll erreichen könnten.
  • Die statistische Prozesskontrolle für die Halbleiterfertigung ermöglicht es einem Unternehmen, Ausbeute und Qualität zu maximieren, indem lediglich eine kleine Anzahl von Wafern aus Tausenden täglich verarbeiteten Wafern entnommen wird. Damit hinkt das Umsatzwachstum im Bereich Messtechnik/Inspektionssysteme dem Wachstum im Gesamtequipment hinterher.
  • Viele große Unternehmen wie KLA-Tencor und Hitachi High Technologies stehen im Wettbewerb mit kleineren und aufstrebenden Halbleiterausrüstungsunternehmen, die spezialisierte Märkte adressieren und innovative Technologien einsetzen, um Kunden zu gewinnen.
  • So hat RTEC beispielsweise ein neues Produkt, NovusEdge, für die Inspektion von blanken Waferkanten und Rückseiten entwickelt. Die Ausbeute an Randchips wird immer kritischer, da Fabriken zur Halbleiterherstellung versuchen, Kosten zu sparen, indem sie den Waferrandausschluss reduzieren, um eine größere Anzahl von Chips mit Ausbeute pro Wafer zu produzieren.

Umfang des Berichts

Halbleitermeß- und Inspektionsgeräte werden verwendet, um verschiedene Wafer und Dünnfilme nach der Verarbeitung von Halbleitern inline zu inspizieren. Der globale Markt für Halbleitermess- und Inspektionsgeräte ist nach Typ (Lithographie-Messtechnik (Overlay, Dimensionsgeräte, Maskeninspektion/Messtechnik), Wafer-Inspektion, Dünnschichtmesstechnik) und Geografie unterteilt.

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Wichtige Markttrends

Lithografie-Messtechnik wird voraussichtlich ein deutliches Wachstum auf dem Markt verzeichnen

  • Mit den kontinuierlichen Übergängen wie der Miniaturisierung von Knoten und Wafergrößen hat die wachsende Nachfrage nach zunehmenden Wafergrößen für ultrahochintegrierte Fertigungstechnologien das Wachstum von Lithografie-Messgeräten gefördert. Zusätzlich wird ein Rasterelektronenmikroskop mit kritischen Abmessungen (CD-SEM) zum Messen der Abmessungen der auf dem Wafer gebildeten Muster verwendet; Das Gerät wird als Teil der Fertigungslinien von elektronischen Geräten verwendet. Aufgrund des Halbleiterproduktionsprozesses ist derzeit CD-SEM einer erheblichen Nachfrage ausgesetzt.
  • Anbieter von Halbleitermess- und Inspektionsgeräten erneuern ihre Angebote zunehmend, um die Miniaturisierung zu ermöglichen und die Wellenlänge der Lithografie zu reduzieren. Beispielsweise verwendet die EUV-Lithografie von ASML Licht mit einer Wellenlänge von 13,5 Nanometern, was fast das 14-fache der Wellenlänge anderer Lithografielösungen ist.
  • Darüber hinaus entwickeln Marktanbieter zunehmend fortschrittliche CD-Messtechniken und -dienste, um der steigenden Nachfrage der Industrie nach Miniaturisierungsanforderungen gerecht zu werden. Im Juni 2021 kündigte beispielsweise die EV Group (EVG), ein Anbieter von Waferbonding- und Lithografiegeräten für die MEMS-, Nanotechnologie- und Halbleitermärkte, den EVG Step-and-Repeat (S&R) Mastering Shop an, ein neues Serviceangebot zur Unterstützung Kunden beschleunigen den Einsatz der Nanoimprint-Lithographie (NIL) in der Massenfertigung.
  • Darüber hinaus einigten sich ASML und die Heriot-Watt University in Schottland im März 2021 auf eine fünfjährige Partnerschaft zur Kommerzialisierung neuer Laserquellen, um einen direkten Marktzugang für Laser in Lithografie-Messanwendungen zu schaffen.
Semiconductor Metrology and  Inspection Equipment Market

Im asiatisch-pazifischen Raum wird ein erhebliches Marktwachstum erwartet

  • Der asiatisch-pazifische Raum ist eine der führenden Regionen für die Halbleiterindustrie in Bezug auf Herstellung und Nutzung. Laut SIA ist der asiatisch-pazifische Raum der größte regionale Halbleitermarkt und China der größte Einzellandmarkt.
  • Viele Regionen gehen Kooperationen und Partnerschaften auf dem Markt für Mess- und Prüfgeräte für Halbleiter ein. Beispielsweise kündigte Shenzhen JT Automation Equipment, ein chinesischer Hersteller von Werkzeugen zur Chipproduktion, im Juli 2021 eine rechtsverbindliche Absichtserklärung mit einer Laufzeit von fünf Jahren mit dem HiSilicon Technologies-Geschäft von Huawei an. Beide Unternehmen wollen ihre Entwicklungspartnerschaft für Halbleiter-Packaging-Tools ausbauen und eine autarke und regulierte Industrie schaffen.
  • Die Region ist Zeuge der Entwicklung und Innovation auf dem Markt für Halbleitermess- und -inspektionsgeräte. Beispielsweise kündigte die Hitachi High-Tech Corporation im November 2020 die Hochgeschwindigkeits-Defektüberprüfung SEM*1 CR7300 an. Das CR7300 ist ein neues Test-SEM-Modell, das zur Produktivitätssteigerung bei der Herstellung von Halbleitergeräten beitragen wird. Es basiert auf Elektronenoptik, die die Aufnahme der besten hochauflösenden Bilder ermöglicht. Gleichzeitig ermöglichen fortschrittliche Bildgebungs- und Tischsysteme eine Hochgeschwindigkeits-Bilderfassung in der Hälfte der Zeit im Vergleich zu herkömmlichen Methoden, wodurch die Gesamtprüfzeit erheblich verkürzt wird.
  • Darüber hinaus hat Canon im Oktober 2020 die Markteinführung des FPA-3030i5a angekündigt, dem neuesten Eintrag in der Reihe der i-line1-Stepper-Halbleiter-Lithographiesysteme des Unternehmens, die die Herstellung und Inspektion unterstützen. Das Halbleiter-Lithografiesystem FPA-3030i5a ist für die Verarbeitung kleiner Substrate von 8 Zoll oder weniger ausgelegt. Darüber hinaus unterstützt es Siliziumwafer und Verbindungshalbleitermaterialien wie SiC (Siliziumkarbid) und GaN (Galliumnitrid).
Semiconductor Metrology and  Inspection Equipment Market

Wettbewerbslandschaft

Der Markt für Prüfgeräte für die Halbleitermesstechnik ist stark fragmentiert, mit einer beträchtlichen Anzahl regionaler und globaler Akteure. Die Innovation treibt den Markt in den Produktangeboten voran, und jeder Anbieter investiert in Innovation.

  • Juni 2021 – Die KLA Corporation gab die Einführung von vier neuen Produkten für die Messtechnik und Inspektion von Halbleitern in der Automobilindustrie bekannt. Umfasst das hochproduktive Inspektionssystem für gemusterte Wafer 8935, das C205- Breitband-Plasma-Inspektionssystem für gemusterte Wafer, die Inspektionssysteme für ungemusterte Wafer Surfscan SP A2/A3 und die Inline-Durchschnittsprüfungslösung für defekte Teile I-PAT.
  • April 2021 – Applied Materials, Inc. kündigte AIx an, eine Plattform, die die Entdeckung, Entwicklung und den kommerziellen Einsatz neuer Chiptechnologien beschleunigt. AIx ermöglicht es Ingenieuren, in Echtzeit in Halbleiterprozesse einzublicken, Millionen von Messungen über Wafer und einzelne Chips hinweg durchzuführen und Tausende von Prozessvariablen zu optimieren, um die Halbleiterleistung, den Stromverbrauch, die Flächenkosten und die Markteinführungszeit (PPACt) zu verbessern. Die AIx-Plattform funktioniert mit allen Prozessgeräten, eBeam-Messsystemen und Inspektionssystemen von Applied Materials und ist vom Labor bis zur Fabrik erweiterbar.

Hauptakteure

  1. KLA Corporation

  2. Applied Materials Inc.

  3. Onto Innovation Inc.

  4. Thermo Fisher Scientific Inc.

  5. Hitachi High-Tech Corporation

*Disclaimer: Major Players sorted in no particular order

Semiconductor Metrology and  Inspection Equipment Market

Wettbewerbslandschaft

Der Markt für Prüfgeräte für die Halbleitermesstechnik ist stark fragmentiert, mit einer beträchtlichen Anzahl regionaler und globaler Akteure. Die Innovation treibt den Markt in den Produktangeboten voran, und jeder Anbieter investiert in Innovation.

  • Juni 2021 – Die KLA Corporation gab die Einführung von vier neuen Produkten für die Messtechnik und Inspektion von Halbleitern in der Automobilindustrie bekannt. Umfasst das hochproduktive Inspektionssystem für gemusterte Wafer 8935, das C205- Breitband-Plasma-Inspektionssystem für gemusterte Wafer, die Inspektionssysteme für ungemusterte Wafer Surfscan SP A2/A3 und die Inline-Durchschnittsprüfungslösung für defekte Teile I-PAT.
  • April 2021 – Applied Materials, Inc. kündigte AIx an, eine Plattform, die die Entdeckung, Entwicklung und den kommerziellen Einsatz neuer Chiptechnologien beschleunigt. AIx ermöglicht es Ingenieuren, in Echtzeit in Halbleiterprozesse einzublicken, Millionen von Messungen über Wafer und einzelne Chips hinweg durchzuführen und Tausende von Prozessvariablen zu optimieren, um die Halbleiterleistung, den Stromverbrauch, die Flächenkosten und die Markteinführungszeit (PPACt) zu verbessern. Die AIx-Plattform funktioniert mit allen Prozessgeräten, eBeam-Messsystemen und Inspektionssystemen von Applied Materials und ist vom Labor bis zur Fabrik erweiterbar.

Table of Contents

  1. 1. EINLEITUNG

    1. 1.1 Studienannahmen und Marktdefinition

      1. 1.2 Umfang der Studie

      2. 2. FORSCHUNGSMETHODIK

        1. 3. ZUSAMMENFASSUNG

          1. 4. MARKTEINBLICKE

            1. 4.1 Marktübersicht

              1. 4.2 Branchenattraktivität – Porters Fünf-Kräfte-Analyse

                1. 4.2.1 Verhandlungsmacht der Lieferanten

                  1. 4.2.2 Verhandlungsmacht der Käufer

                    1. 4.2.3 Bedrohung durch Neueinsteiger

                      1. 4.2.4 Bedrohung durch Stellvertreter

                        1. 4.2.5 Wettberbsintensität

                        2. 4.3 Bewertung der Auswirkungen von Covid-19 auf den Markt

                        3. 5. MARKTDYNAMIK

                          1. 5.1 Marktführer

                            1. 5.1.1 Steigende Nachfrage nach leistungsstarken, kostengünstigen Halbleitern

                              1. 5.1.2 Steigende Nachfrage nach Halbleiterwafern in der Unterhaltungselektronik

                              2. 5.2 Marktbeschränkungen

                                1. 5.2.1 Hohe Einrichtungskosten und fehlendes Know-how im effizienten Umgang mit Messsystemen

                              3. 6. MARKTSEGMENTIERUNG

                                1. 6.1 Nach Typ

                                  1. 6.1.1 Lithographie Metrologie

                                    1. 6.1.1.1 Überlagerung

                                      1. 6.1.1.2 Dimension Ausrüstung

                                        1. 6.1.1.3 Maskeninspektion und Messtechnik

                                        2. 6.1.2 Wafer-Inspektion

                                          1. 6.1.3 Dünnschichtmesstechnik

                                            1. 6.1.4 Andere Prozessleitsysteme

                                            2. 6.2 Nach Geographie

                                              1. 6.2.1 Nordamerika

                                                1. 6.2.2 Europa

                                                  1. 6.2.3 Asien-Pazifik

                                                    1. 6.2.4 Übrigen Welt

                                                  2. 7. WETTBEWERBSLANDSCHAFT

                                                    1. 7.1 Unternehmensprofile

                                                      1. 7.1.1 KLA Corporation

                                                        1. 7.1.2 Angewandte Materialien Inc.

                                                          1. 7.1.3 Auf Innovation Inc. (Rudolph Technologies Inc.)

                                                            1. 7.1.4 Thermo Fisher Scientific Inc.

                                                              1. 7.1.5 Hitachi High-Tech Corporation

                                                                1. 7.1.6 Nova Messgeräte GmbH

                                                                  1. 7.1.7 ASML Holding NV

                                                                    1. 7.1.8 Lasertec Corporation

                                                                      1. 7.1.9 JEOL Ltd.

                                                                        1. 7.1.10 Nikon Metrology NV

                                                                          1. 7.1.11 Camtek Limited

                                                                        2. 8. INVESTITIONSANALYSE

                                                                          1. 9. ZUKUNFT DES MARKTES

                                                                            **Subject to Availability
                                                                            You can also purchase parts of this report. Do you want to check out a section wise price list?

                                                                            Frequently Asked Questions

                                                                            Der Markt für Halbleitermess- und Inspektionsgeräte wird von 2018 bis 2028 untersucht.

                                                                            Der Markt für Halbleitermess- und Inspektionsgeräte wächst in den nächsten 5 Jahren mit einer CAGR von 5,5 %.

                                                                            Der asiatisch-pazifische Raum wächst von 2018 bis 2028 mit der höchsten CAGR.

                                                                            Asien-Pazifik hält 2021 den höchsten Anteil.

                                                                            KLA Corporation, Applied Materials Inc., Onto Innovation Inc., Thermo Fisher Scientific Inc. und Hitachi High-Tech Corporation sind die wichtigsten Unternehmen, die auf dem Markt für Halbleitermess- und Inspektionsgeräte tätig sind.

                                                                            close-icon
                                                                            80% of our clients seek made-to-order reports. How do you want us to tailor yours?

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