プラズマエッチング装置市場規模・シェア分析-成長動向・予測(2024年~2029年)

プラズマエッチング装置市場は、タイプ(反応性イオンエッチング、誘導結合プラズマエッチング、深部反応性イオンエッチング)、用途(消費者、産業、医療)、地域別に区分される。

プラズマエッチング装置市場規模

プラズマエッチング装置市場分析

プラズマエッチング装置市場は予測期間中に7.8%のCAGRを記録すると予測されている。プラズマエッチング装置の需要は、予測期間中、さらに小さな寸法を達成するためのエッチングプロセスの使用により、エッチング技術および関連装置の重要性が高まっていることが背景にあると見られている。プラズマエッチングは、マイクロエレクトロニクス産業における微細化に対する厳しいプロセス要求に対応するための様々な修正を可能にしている。

  • プラズマエッチングは洗練された汎用性の高い技術であり、さまざまなデバイスを作成する。今日、半導体メーカーは、化学薬品の消費量が少なく、自動化や枚葉製造に適していることから、従来のウェット・エッチングからプラズマ・エッチング・システムへの切り替えを進めている。小型でエネルギー効率に優れ、性能も向上した電子機器に対する需要の高まりは、半導体集積回路(IC)の小型化の必要性を高めている。ICを小型化するためには、小さなジオメトリで高度な回路製造プロセスを経なければならず、そのため精密なパターン転写が必要となる。
  • プラズマ・エッチングは、半導体および微小電気機械システム産業で広く使用されている。例えば、プリント回路基板(PCB)の製造では、等方性エッチングは、機械加工後、電気メッキの前に回路をプラズマ洗浄するために使用される。異方性エッチングは、ウェハーに回路パターンを形成するために使用される。この異方性プラズマエッチングは高エネルギーであり、反応性イオンエッチング(RIE)と呼ばれる。
  • さらに、世界中のさまざまな消費者に技術的に高度なインテリジェントデバイスを提供するためにIoTアプリケーションで行われている大規模な技術的アップグレードも、高度な半導体の需要を加速し、それによって市場の成長にプラスの影響を与えると予測されている。IoTアプリケーションの成長に伴い、スマートデバイスが増加し、半導体の小型化が進み、プラズマエッチングの需要が高まっている。
  • スマートフォンや、半導体ICを必要とするその他のアプリケーションは、家電、自動車、その他の産業におけるプラズマエッチングの需要を全体的に押し上げている他の要因であり、無線技術(5G)や人工知能のような技術の進歩がこれらの分野の動向に大きな影響を与えている。また、モノのインターネット(IoT)デバイスの増加により、半導体業界はインテリジェント製品を実現するためにこの装置への投資を余儀なくされると予想される。SEMI Silicon Manufacturers Group (SMG)は、シリコンウェーハ業界の四半期レビューで、2021年第3四半期の世界のシリコンウェーハ出荷量が3.3%増の36億4900万平方インチとなり、業界最高を更新したことを明らかにした。2021年第3四半期のシリコンウェーハ出荷量は前年同期比16.4%増の31億3500万平方インチとなった。
  • しかし、この装置はウェットケミカルエッチング装置よりもコストが高いことが多い。また、ウェットケミカルエッチングではレジストの消費が早いため、ウェットケミカルエッチング装置に比べて選択性が低下する。これらは市場成長を阻む主な要因の一部である。
  • COVID-19の大流行により、半導体製造装置業界ではいくつかの品目の製造が停止され、世界中のほとんどの地域で封鎖措置が継続された。封鎖措置は民生用電子機器の需要を減少させ、半導体セクターにも世界的な影響を与えた。自動車の世界的な需要と輸出出荷の継続的な減少は、半導体市場にマイナスの影響を与え、現在、半導体製造装置の需要を減速させている。しかし、産業活動が大流行前の水準に戻れば、需要は徐々に牽引力を増すと予想される。

プラズマエッチング装置産業概要

プラズマエッチング装置市場は競争が激しい。既存のプレーヤーが市場に激しく浸透しているため、ベンダー間の競争は激しく、市場はさらに成長すると予想される。主なプレーヤーには、アプライドマテリアルズ社、ラムリサーチ社、東京エレクトロン社などがある。

  • 2022年3月-エッチング、成膜、表面処理装置メーカーのサムコは、新しいプラズマエッチングクラスターツール Cluster H を発表した。最先端のプラズマ技術を駆使し、SiC/GaNパワーデバイス、高周波フィルタ、GaAs VCSEL、CMOSイメージセンサ、マイクロOLED/LED、先端パッケージングなどの化合物半導体デバイスの本格的な生産能力を提供する。
  • 2022年3月 - ドライエッチング装置メーカーのAPTCは、300mm酸化膜エッチング装置を開発中で、2023年にデモテキストを提供すると発表した。APTCは、まずポリシリコンをプラズマ源でエッチングする装置を提供した。これにより、同社はドライエッチング装置市場でのプレゼンスをさらに拡大することに注力している。

プラズマエッチング装置市場のリーダー

  1. Lam Research Corporation

  2. Applied Materials Inc.

  3. Tokyo Electron Ltd

  4. SPTS Technologies (KLA company)

  5. Oxford Instruments PLC

  6. *免責事項:主要選手の並び順不同
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プラズマエッチング装置市場ニュース

  • 2022年2月-プラズマエッチングおよび成膜装置メーカーのラムリサーチ社は、チップメーカーがディープシリコンエッチング技術を使用して次世代パワーマネージメント集積回路やパワーデバイスを開発できるように設計された新製品、シンディオンGPを発表した。同社によると、Syndion GPは、ディープシリコンエッチング(DRIE)プロセスのイオンとラジカルの分布を制御することにより、ウェーハ全体のプラズマを良好に制御することができる。
  • 2021年12月 - 東京エレクトロンは、高解像度プロセス用の新しいPICP Proチャンバを搭載した第8世代ガラス基板処理用プラズマエッチング装置Impressio 2400 PICP Proを発表した。

プラズマエッチング装置市場レポート-目次

1. 導入

  • 1.1 研究の前提条件と市場定義
  • 1.2 研究の範囲

2. 研究方法

3. エグゼクティブサマリー

4. 市場洞察

  • 4.1 市場概況
  • 4.2 業界のバリューチェーン分析
  • 4.3 業界の魅力 - ポーターのファイブフォース分析
    • 4.3.1 新規参入の脅威
    • 4.3.2 買い手の交渉力
    • 4.3.3 サプライヤーの交渉力
    • 4.3.4 代替品の脅威
    • 4.3.5 競争の激しさ
  • 4.4 新型コロナウイルス感染症(COVID-19)の市場への影響

5. 市場ダイナミクス

  • 5.1 市場の推進力
    • 5.1.1 半導体産業の成長
    • 5.1.2 小型でエネルギー効率の高い電子機器への需要の高まり
  • 5.2 市場の制約
    • 5.2.1 回路構造の微細化に伴う複雑さの増大

6. 市場セグメンテーション

  • 6.1 タイプ別
    • 6.1.1 反応性イオンエッチング (RIE)
    • 6.1.2 誘導結合プラズマエッチング (ICP)
    • 6.1.3 ディープ反応性イオンエッチング (DRIE)
    • 6.1.4 その他のタイプ
  • 6.2 用途別
    • 6.2.1 産業用途
    • 6.2.2 医療用途
    • 6.2.3 家電
    • 6.2.4 その他の用途
  • 6.3 地理
    • 6.3.1 北米
    • 6.3.2 ヨーロッパ
    • 6.3.3 アジア太平洋地域
    • 6.3.4 世界のその他の地域

7. 競争環境

  • 7.1 会社概要
    • 7.1.1 SPTS Technologies (KLA company)
    • 7.1.2 Applied Materials Inc.
    • 7.1.3 Lam Research Corporation
    • 7.1.4 オックスフォード・インスツルメンツ PLC
    • 7.1.5 Tokyo Electron Limited
    • 7.1.6 Plasma Etch Inc.
    • 7.1.7 Plasma-Therm LLC
    • 7.1.8 Thierry Corporation
    • 7.1.9 Samco Inc.
    • 7.1.10 Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.
    • 7.1.11 Sentech Instruments GmbH
    • 7.1.12 GigaLane Co. Ltd

8. 投資分析

9. 市場の将来展望

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プラズマエッチング装置産業セグメント

この調査レポートは、世界中のプラズマエッチング装置製品の市場分析に焦点を当てています。市場サイジングは、世界的に分析され、様々な市場プレーヤーによって販売されるプラズマエッチング装置製品によって生み出される収益を包含する。また、主要な市場パラメータ、根本的な成長影響因子、業界で事業展開している主要ベンダーを追跡し、予測期間における市場推定と成長率をサポートします。さらに、COVID-19がエコシステムに与える全体的な影響についても分析しています。当レポートの調査範囲は、タイプ別、用途別、地域別の市場規模と予測を網羅しています。

タイプ別 反応性イオンエッチング (RIE)
誘導結合プラズマエッチング (ICP)
ディープ反応性イオンエッチング (DRIE)
その他のタイプ
用途別 産業用途
医療用途
家電
その他の用途
地理 北米
ヨーロッパ
アジア太平洋地域
世界のその他の地域
タイプ別
反応性イオンエッチング (RIE)
誘導結合プラズマエッチング (ICP)
ディープ反応性イオンエッチング (DRIE)
その他のタイプ
用途別
産業用途
医療用途
家電
その他の用途
地理
北米
ヨーロッパ
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プラズマエッチング装置市場調査FAQ

現在のプラズマエッチング装置の市場規模はどれくらいですか?

プラズマエッチング装置市場は、予測期間(7.80%年から2029年)中に7.80%のCAGRを記録すると予測されています

プラズマエッチング装置市場の主要プレーヤーは誰ですか?

Lam Research Corporation、Applied Materials Inc.、Tokyo Electron Ltd、SPTS Technologies (KLA company)、Oxford Instruments PLCは、プラズマエッチング装置市場で活動している主要企業です。

プラズマエッチング装置市場で最も急成長している地域はどこですか?

アジア太平洋地域は、予測期間 (2024 ~ 2029 年) にわたって最も高い CAGR で成長すると推定されています。

プラズマエッチング装置市場で最大のシェアを誇る地域はどこですか?

2024年には、アジア太平洋地域がプラズマエッチング装置市場で最大の市場シェアを占めます。

このプラズマエッチング装置市場は何年を対象としていますか?

このレポートは、プラズマエッチング装置市場の過去の市場規模を2019年、2020年、2021年、2022年、2023年までカバーしています。また、レポートは、プラズマエッチング装置の市場規模を2024年、2025年、2026年、2027年、2028年、2029年まで予測します。

最終更新日: 10月 24, 2023

プラズマエッチング装置産業レポート

Mordor Intelligence™ Industry Reports が作成した、2024 年のプラズマ エッチング装置市場シェア、規模、収益成長率の統計。プラズマエッチング装置の分析には、2029年までの市場予測見通しと過去の概要が含まれます。この業界分析のサンプルを無料のレポート PDF ダウンロードとして入手してください。

プラズマエッチング装置 レポートスナップショット