ウェーハ洗浄装置 マーケットシェア

マーケットシェア の ウェーハ洗浄装置 産業

市場の主要プレーヤーは、Lam Research Corporation、Applied Materials, Inc.、Veeco Instruments Inc.、東京エレクトロン株式会社、Entegris, Inc.、Modutek Corporation、Semes Co.これらのプレーヤーが主要シェアを占めており、信頼性が高いため、市場統合が進んでいる

• 2019年3月-東京エレクトロン（東京都港区）は、2019年5月に枚葉式洗浄装置「Cellesta Pro SPMを発売すると発表した。 Cellesta Pro SPMは、TiN膜やW膜の選択性を制御したウェットメタルエッチング、ポストCMPやポストアッシュクリーン工程に対応した独自のウェーハSPM処理装置である。このシステムは、硫酸、および過酸化水素の混合物（硫酸過酸化物混合物：SPM）を洗浄およびウェットエッチングプロセスに使用します。
• 2018年12月 - 株式会社ディスコは、300mmシリコンウェーハの加工が可能な全自動ブレードダイシングソー「DFD6363を開発した。DFD6363は、300mmSiウェーハの半導体製造に広く採用されているDFD6362の改良版。

ウェーハ洗浄装置市場のリーダー

1. Applied Materials, Inc.

2. Lam Research Corporation

3. Tokyo Electron Limited

4. Veeco Instruments Inc.

5. Screen Holdings Co., Ltd

*免責事項:主要選手の並び順不同