マーケットトレンド の 半導体露光装置 産業
深紫外リソグラフィー（DUV）が主要市場シェアを占める
- ディープUVリソグラフィ（DUV）は、マスク上のパターンを4倍または5倍の光学系を通してウェハ表面に投影する光学投影リソグラフィ技術である。このタイプのリソグラフィーに使用される波長は248nmまたは193nmです。このリソグラフィは、DUVツールの典型的なウェーハレベル露光フィールドサイズである22mm×22mm以下のディスクリート部品の大面積マスターに最適な高速リソグラフィ技術である。
- DUVリソグラフィタイプは、次世代リソグラフィ技術の代表的なものの一つである。この技術はコスト効率が高く、解像力が向上している。DUVリソグラフィの採用は、主に小型化の傾向によって推進されている。リソグラフィは、半導体ウェハー上に集積回路（IC）を特徴づける複雑なパターンを印刷するために使用される。
- DUVリソグラフィーを使えば、電力需要の少ない軽量電子チップを簡単に実現できる。このプラットフォームは、電力分解能が向上し、コスト効率に優れています。これらの構造が一体となってICを形成し、チップとして知られている。半導体産業がより効率的なマイクロチップを追求することは、チップメーカーがより多くの構造をチップ上に研究する必要があることを意味し、チップをより高速かつ効率的にするとともに、製造コストを削減する。このことは、予測期間中の市場の成長を押し上げると予想される。
- ASMLによると、EUVへの移行はDUVの需要をさらに押し上げる可能性がある。チップメーカーは、チップ製造の初期段階でEUVを導入し、トランジスタ、最小ビア（ソース、ゲート、ドレインを複雑な相互接続層に接続する接点）、場合によっては接続層といった微細構造を適用する。
- 企業は7nmノードまでのチップを製造できる技術を求めており、市場は様々な投資を目の当たりにしている。例えば、キヤノンは2022年10月、半導体露光装置などを生産する半導体装置工場を東日本に新設すると発表した。設備は2025年前半までに稼動を開始する予定である。
- 大手ベンダーによるこのような開発は、半導体生産を後押しする政府のイニシアティブとともに、予測期間中の市場成長を促進すると予想される。
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アジア太平洋地域が最速の成長を遂げる
- アジア太平洋地域は近年、最大の半導体市場として台頭してきた。デジタル技術の浸透、急速な都市化、工業化がこの成長の主な要因である。さらに、大規模な半導体製造、パッケージング、組立産業が存在することも、同地域のリソグラフィ装置市場の成長に有利なシナリオを生み出している。
- 需要の増加、政府規制の支援、原材料と労働力の容易な入手も、半導体製造業界の成長を後押ししている。中国、台湾、韓国、日本などの国々は、製造拠点を大幅に拡大し、半導体装置に対する需要を生み出している。Semiconductor Equipment and Material International (SEMI)によると、2021年には、中国が半導体装置への支出額のトップで、韓国、台湾、日本がこれに続いた。さらにSEMIが報告しているように、中国は来年も半導体装置支出額でトップの座を維持し、2024年には台湾が再びトップに返り咲くと予想されている。
- 米中紛争が始まって以来、中国は先進的なチップ製造技術と装置を自社開発してきた。そのため、公的機関だけでなく民間企業によっても多額の研究開発投資が行われている。SEMIによると、中国の約80の国内企業（合弁企業を含む）が半導体装置の研究・製造に従事している。
- 同様に、ファーウェイは2022年12月、サブ10nmノードのハイエンド・プロセッサーの製造に必要なEUVリソグラフィ・システムで使用される光源コンポーネントの開発を確認した。
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