マーケットシェア の プラズマエッチング装置 産業
プラズマエッチング装置市場は競争が激しい。既存のプレーヤーが市場に激しく浸透しているため、ベンダー間の競争は激しく、市場はさらに成長すると予想される。主なプレーヤーには、アプライドマテリアルズ社、ラムリサーチ社、東京エレクトロン社などがある
- 2022年3月-エッチング、成膜、表面処理装置メーカーのサムコは、新しいプラズマエッチングクラスターツール Cluster H を発表した。最先端のプラズマ技術を駆使し、SiC/GaNパワーデバイス、高周波フィルタ、GaAs VCSEL、CMOSイメージセンサ、マイクロOLED/LED、先端パッケージングなどの化合物半導体デバイスの本格的な生産能力を提供する。
- 2022年3月 - ドライエッチング装置メーカーのAPTCは、300mm酸化膜エッチング装置を開発中で、2023年にデモテキストを提供すると発表した。APTCは、まずポリシリコンをプラズマ源でエッチングする装置を提供した。これにより、同社はドライエッチング装置市場でのプレゼンスをさらに拡大することに注力している。
プラズマエッチング装置市場のリーダー
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Lam Research Corporation
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Applied Materials Inc.
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Tokyo Electron Ltd
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SPTS Technologies (KLA company)
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Oxford Instruments PLC
*免責事項:主要選手の並び順不同
