Tamaño y Participación del Mercado de Películas Protectoras EUV

Análisis del Mercado de Películas Protectoras EUV por Mordor Intelligence
El tamaño del Mercado de Películas Protectoras EUV fue valorado en 0,75 mil millones de USD en 2025 y se estima que crecerá desde 0,85 mil millones de USD en 2026 hasta alcanzar 1,60 mil millones de USD en 2031, a una CAGR del 13,47% durante el período de pronóstico (2026-2031). El avance hacia nodos lógicos avanzados está incrementando el número de exposiciones de Ultravioleta Extremo (EUV) requeridas por cada oblea. Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited inició la producción de su tecnología de 2 nm en el cuarto trimestre de 2025, y su tecnología A16 está lista para producción en el segundo semestre de 2026, lo que extiende la demanda de películas protectoras calificadas a través de sucesivas transiciones de nodo. La demanda de inteligencia artificial, computación de alto rendimiento y lógica avanzada está aumentando el valor otorgado a los procesos de exposición estables y a la protección de máscaras. Los sistemas EUV de Alta Apertura Numérica (NA) también están incrementando la necesidad de membranas que mantengan alta transmitancia a mayor potencia de fuente. Los proveedores que pueden calificar materiales duraderos, ampliar la capacidad de fabricación y apoyar a los clientes a través de largos ciclos de validación tienen una posición más sólida en el mercado de películas protectoras EUV.
Conclusiones Clave del Informe
- Por tipo de producto, las películas protectoras de membrana representaron el 59,85% de la participación del mercado de películas protectoras EUV en 2025, mientras que se proyecta que las películas protectoras sin membrana avancen a una CAGR del 14,74% hasta 2031.
- Por usuario final, las fundiciones de semiconductores representaron el 50,12% de la participación del mercado de películas protectoras EUV en 2025, mientras que se proyecta que los fabricantes de memoria avancen a una CAGR del 15,66% hasta 2031.
- Por geografía, Asia-Pacífico representó el 62,78% de la participación del mercado de películas protectoras EUV en 2025 y se proyecta que avance a una CAGR del 14,31% hasta 2031.
Nota: Las cifras del tamaño del mercado y los pronósticos de este informe se generan utilizando el marco de estimación patentado de Mordor Intelligence, actualizado con los datos y conocimientos más recientes disponibles a partir de enero de 2026.
Tendencias e Información del Mercado Global de Películas Protectoras EUV
Análisis de Impacto de los Impulsores*
| Impulsor | (~) % de Impacto en el Pronóstico de CAGR | Relevancia Geográfica | Horizonte Temporal del Impacto |
|---|---|---|---|
| Expansión de la Litografía EUV en Producción de 5 nm, 3 nm y 2 nm | +3.2% | Global, concentrado en APAC (Taiwán, Corea del Sur, Japón) | Corto plazo (≤ 2 años) |
| Creciente Demanda de Inteligencia Artificial, Computación de Alto Rendimiento y Lógica Avanzada | +2.8% | Global, demanda originada en América del Norte y China, capacidad en APAC | Corto plazo (≤ 2 años) |
| Adopción de EUV de Alta NA que Requiere Películas Protectoras de Mayor Transmitancia | +2.2% | APAC (Corea del Sur, Japón); desbordamiento temprano hacia América del Norte | Mediano plazo (2-4 años) |
| Aumento de los Recuentos de Capas EUV en la Fabricación de DRAM y NAND | +1.9% | Núcleo APAC (Corea del Sur, Japón, Taiwán) | Mediano plazo (2-4 años) |
| Mayor Potencia de Fuente EUV que Incrementa los Requisitos de Reemplazo de Películas Protectoras | +1.4% | Global, alineado con las ubicaciones de la base instalada de escáneres ASML | Largo plazo (≥ 4 años) |
| Fuente: Mordor Intelligence | |||
Expansión de la Litografía EUV en Producción de 5 nm, 3 nm y 2 nm
Cada nodo lógico sucesivo requiere más pasos de patterning EUV que su predecesor, lo que incrementa los requisitos de uso recurrente en el mercado de películas protectoras EUV. Esto crea un aumento directo en la actividad de exposición y el uso de películas protectoras por oblea en la producción lógica, lo que proporciona al mercado de películas protectoras EUV una base de demanda. Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited puso en producción su tecnología de 2 nm en el cuarto trimestre de 2025 con transistores de nanohojas que requieren un control de superposición más preciso que la producción FinFET de 3 nm. La tecnología A16 de la empresa está lista para producción en el segundo semestre de 2026 y está destinada a aplicaciones de computación de alto rendimiento e inteligencia artificial. El equipo existente de 5 nm también puede adaptarse para añadir capacidad de 3 nm en un ciclo de 6 a 12 meses, lo que genera mayor demanda porque el proceso más nuevo utiliza más pasos de patterning EUV y tolerancias de proceso más estrictas. La instalación de Samsung en Taylor, Texas, que apunta a la producción de nodos avanzados, añade una ubicación en América del Norte para esta demanda.
Creciente Demanda de Inteligencia Artificial, Computación de Alto Rendimiento y Lógica Avanzada
La infraestructura de inteligencia artificial respalda la inversión sostenida en capacidad de semiconductores de vanguardia y apoya una utilización más consistente en el mercado de películas protectoras EUV. Los procesadores avanzados tienen un alto valor por oblea, lo que aumenta la importancia de evitar interrupciones causadas por la contaminación de máscaras y hace que la protección probada mediante películas protectoras sea más relevante operativamente para las fábricas de alto rendimiento. ASML declaró en sus resultados del segundo trimestre de 2026 que está ampliando la capacidad EUV para 2027 en respuesta a la demanda vinculada a la infraestructura de inteligencia artificial. Esta demanda proviene de clientes como TSMC, Samsung e Intel, cuyos planes de capacidad de nodos avanzados influyen en el mercado de películas protectoras EUV a lo largo de la cadena de suministro de materiales más amplia. Respalda el uso continuo de materiales de membrana establecidos mientras los materiales más nuevos de nanotubos de carbono (CNT) avanzan en el proceso de calificación. También brinda a los proveedores de películas protectoras un incentivo para mejorar la productividad, ya que una mayor disponibilidad del escáner puede traducirse en una mayor producción de chips avanzados.
Adopción de EUV de Alta NA que Requiere Películas Protectoras de Mayor Transmitancia
La litografía EUV de alta apertura numérica, o Alta NA, opera a una apertura numérica de 0,55 en lugar de 0,33 para los sistemas EUV convencionales. Esto crea una transición técnica diferenciada para el mercado de películas protectoras EUV. ASML indica que su EXE:5200B puede imprimir características 1,7 veces más finas que las herramientas EUV actuales y lograr densidades de transistores 2,9 veces mayores. Esto eleva los requisitos de resistencia térmica, estabilidad mecánica y transmitancia de las películas protectoras, a medida que las hojas de ruta de potencia de fuente avanzan desde el rango de 380 W hacia 600 W y eventualmente 1.000 W. La investigación presentada a través de SPIE describió el desafío de desarrollar películas protectoras que puedan soportar una potencia de fuente EUV de 1.000 W. Las membranas de CNT han demostrado una transmitancia del 95% al 98%, limitando el aumento de dosis al 4%-9%, y pueden soportar temperaturas superiores a 1.500 °C en resultados de exposición reportados. El mercado de películas protectoras EUV, por lo tanto, favorece a los proveedores que pueden convertir el rendimiento de laboratorio en material de producción calificado y repetible.
Mayor Potencia de Fuente EUV que Incrementa los Requisitos de Reemplazo de Películas Protectoras
Una mayor potencia de fuente impone requisitos térmicos adicionales al mercado de películas protectoras EUV y mayor estrés térmico y químico sobre las membranas de películas protectoras durante ciclos de exposición prolongados en entornos de plasma de hidrógeno. La necesidad de preservar la transmisión óptica se vuelve más importante a medida que aumenta la producción del escáner, porque una pérdida en la transmitancia puede incrementar los requisitos de dosis y afectar la productividad del escáner. Las películas protectoras compuestas a base de silicio pueden operar en aplicaciones de baja NA establecidas, pero una mayor potencia requiere márgenes de rendimiento más sólidos. Las películas protectoras de CNT se están desarrollando para abordar esta necesidad porque su estructura de material puede combinar alta transmitancia con resiliencia térmica. Mitsui Chemicals, Inc. estableció instalaciones de películas protectoras de CNT en Iwakuni-Ohtake Works con compatibilidad planificada para potencias de fuente EUV superiores a 1 kW[1]Mitsui Chemicals, Inc. "Mitsui Chemicals establece instalaciones de producción para películas protectoras de CNT para su uso en litografía EUV de próxima generación," Comunicado de prensa, mitsuichemicals.com. Las condiciones de potencia de fuente más exigentes también pueden acortar la vida útil efectiva de las películas protectoras, lo que respalda la demanda de reemplazo cuando los productos completan la calificación.
Análisis de Impacto de las Restricciones*
| Restricción | (~) % de Impacto en el Pronóstico de CAGR | Relevancia Geográfica | Horizonte Temporal del Impacto |
|---|---|---|---|
| Calificación Estricta de Defectividad, Vida Útil y Uniformidad | -1.8% | Global; más aguda en las fábricas de TSMC (Taiwán), Samsung y SK hynix (Corea del Sur) que operan en nodos de vanguardia | Corto plazo (≤ 2 años) |
| Alto Costo de las Películas Protectoras en Relación con las Alternativas DUV Convencionales | -1.3% | Global, con mayor sensibilidad en fundiciones con restricciones de costos en China y mercados emergentes | Mediano plazo (2-4 años) |
| Base Limitada de Proveedores Calificados y Fabricación | -0.9% | Restricción del lado de la oferta global; riesgo de concentración geográfica en Japón y Corea del Sur | Largo plazo (≥ 4 años) |
| Fuente: Mordor Intelligence | |||
Calificación Estricta de Defectividad, Vida Útil y Uniformidad
Las películas protectoras EUV enfrentan un exigente proceso de calificación que rige la entrada al mercado de películas protectoras EUV, lo que limita la velocidad de incorporación de proveedores. Las membranas de 30 a 50 nm de espesor deben mantener la uniformidad de transmitancia dentro de un semirango del 0,4% en un área de 110 mm × 144 mm. También deben sobrevivir a 20.000 o más exposiciones de obleas en condiciones de plasma de hidrógeno. La exposición al hidrógeno puede reducir gradualmente la transmisión óptica y fragilizar la membrana después de miles de exposiciones, lo que convierte la predicción de vida útil en un requisito de ingeniería crítico para la producción. El desafío afecta tanto a los materiales de CNT como a los de base de silicio, como lo ha demostrado el trabajo de durabilidad en películas protectoras de metal-siliciuro. La producción también requiere controles de sala limpia y límites de partículas que restringen el número de instalaciones capaces de soportar la producción calificada, incluidas las condiciones de Clase 1 ISO 14644 utilizadas en este flujo de trabajo de fabricación.
Alto Costo de las Películas Protectoras en Relación con las Alternativas DUV Convencionales
Las películas protectoras EUV en el mercado de películas protectoras EUV cuestan más que las películas protectoras convencionales de ultravioleta profundo (DUV). La diferencia afecta la economía por oblea, especialmente en los nodos EUV maduros donde los márgenes pueden ser más ajustados y el beneficio inmediato de productividad debe sopesarse frente al gasto en consumibles. Algunas fábricas pueden operar sin una película protectora cuando consideran que el riesgo de contaminación es aceptable. Este enfoque intercambia un menor gasto en consumibles por un mayor riesgo de interrupciones relacionadas con la máscara. Un documento de ASML informó que una nueva película protectora EUV puede mejorar la productividad del escáner en más del 20% en comparación con la operación sin película protectora. La adopción de nuevos materiales dependerá tanto del rendimiento técnico demostrado como de una trayectoria creíble hacia menores costos de producción.
*Nuestras previsiones consideran los impactos de impulsores y restricciones como direccionales, no aditivos. Las previsiones de impacto reflejan el crecimiento base, los efectos de mezcla y las interacciones entre variables.
Análisis de Segmentos
Por Tipo de Producto: Las Películas Protectoras de Membrana Lideran Mientras las Películas Protectoras sin Membrana Apoyan el Crecimiento
Las películas protectoras de membrana representaron el 59,85% de la participación del mercado de películas protectoras EUV en 2025. Su posición fue respaldada por la base instalada de escáneres ASML NXE de 0,33 NA que operan a potencias de fuente de hasta 400 W. Las membranas compuestas a base de silicio y metal-siliciuro han acumulado datos de exposición en producción en las fábricas de TSMC, Samsung y SK hynix. Ese historial operativo sigue siendo importante porque los clientes requieren evidencia extensa antes de aprobar otro material de película protectora. Su compatibilidad establecida con los procesos de manejo de escáner, máscara y retícula respalda la demanda continua, mientras que la industria de películas protectoras EUV depende de la consistencia del material tanto como de la transmitancia en laboratorio.
Se proyecta que las películas protectoras sin membrana en el mercado de películas protectoras EUV avancen a una CAGR del 14,74% hasta 2031. Esta categoría incluye películas protectoras de membrana de CNT y otros enfoques de protección no patterned. La tecnología de reactor CNT de Deposición Química de Vapor por Catalizador Flotante (FC-CVD) de CANATU está licenciada a FST, mientras que Mitsui Chemicals, Inc. está desarrollando su propia capacidad de películas protectoras de CNT. Otros enfoques comercialmente tempranos incluyen conceptos de protección integrada en fotomáscaras y materiales experimentales, mientras que los compuestos de metal-siliciuro demuestran más del 90% de transmitancia y supervivencia a través de 20.000 exposiciones de obleas a 400 W en pruebas controladas. Por lo tanto, es probable que tanto los compuestos establecidos como las opciones de CNT sigan siendo relevantes hasta 2031.

Por Usuario Final: Las Fundiciones de Semiconductores Lideran, Mientras los Fabricantes de Memoria Aceleran
Las fundiciones de semiconductores representaron el 50,12% de la participación del mercado de películas protectoras EUV en 2025. Su demanda se concentra entre TSMC, Samsung Foundry, Intel Foundry y un pequeño número de fábricas especializadas. En 2025, 5 fabricantes operaban EUV en producción de alto volumen: TSMC, Samsung, Intel, SK hynix y Micron. Esta base de clientes concentrada brinda a los proveedores de películas protectoras calificadas visibilidad directa sobre los cambios en la demanda, pero las decisiones de calificación siguen siendo muy importantes porque la capacidad lógica avanzada necesita una protección estable de la máscara durante los complejos pasos de exposición. Las fundiciones también aplican requisitos de calificación distintos, lo que hace que el soporte al cliente y el conocimiento del proceso sean importantes.
Se proyecta que los fabricantes de memoria en el mercado de películas protectoras EUV avancen a una CAGR del 15,66% hasta 2031. Los mayores recuentos de capas EUV en la Memoria Dinámica de Acceso Aleatorio (DRAM) y el uso inicial de EUV de Micron en su instalación de 1-gamma en Hiroshima están respaldando este incremento. ASML confirmó en el primer trimestre de 2026 que los clientes de memoria estaban avanzando los sistemas de Alta NA hacia la producción en masa. Los fabricantes de fotomáscaras utilizan películas protectoras principalmente para la calificación e inspección de máscaras. Dai Nippon Printing, HOYA y Toppan sirven a esta cadena de valor, mientras que las instituciones de investigación y las líneas piloto crean demanda episódica vinculada a proyectos de calificación. La demanda relacionada con la memoria está respaldada por nuevas generaciones de dispositivos y una mayor intensidad de proceso.

Análisis Geográfico
Asia-Pacífico representó el 62,78% de la participación del mercado de películas protectoras EUV en 2025 y se proyecta que avance a una CAGR del 14,31% hasta 2031. La región alberga a los principales fabricantes de chips con capacidad EUV y gran parte de la cadena de suministro de materiales relacionada, por lo que la capacidad instalada de escáneres y la producción de membranas calificadas están estrechamente vinculadas geográficamente. Corea del Sur es un importante centro de demanda porque Samsung y SK Hynix operan fábricas líderes de lógica y memoria. Taiwán es central para el consumo de fundiciones porque TSMC está ampliando múltiples fábricas de 2 nm.
Japón combina la demanda local con el suministro de Mitsui Chemicals y Shin-Etsu Chemical, mientras que la demanda del mercado de películas protectoras EUV de China sigue restringida por los controles de exportación sobre los envíos de escáneres EUV. Los fabricantes de chips nacionales están ampliando la capacidad DUV, lo que puede respaldar la demanda relacionada de películas protectoras a través de operaciones de fotomáscaras. India, los países de la ASEAN y el resto de la región Asia-Pacífico se encuentran en etapas más tempranas de inversión en semiconductores avanzados. El programa de incentivos para semiconductores de India está atrayendo capacidad de ensamblaje aguas abajo que puede convertirse en una señal de demanda futura si la base de fabricación regional avanza más hacia la fabricación de obleas.
La demanda de América del Norte está respaldada por inversiones anunciadas en lógica y memoria que amplían su papel en la fabricación avanzada de semiconductores. Las fábricas habilitadas para EUV de Intel en Oregón y Arizona, la instalación de Samsung en Taylor y la expansión de Micron en Estados Unidos respaldan la demanda regional. El suministro primario de membranas en Estados Unidos es limitado, mientras que Entegris proporciona infraestructura de manejo de retículas y control de contaminación. Europa tiene un papel estratégico porque ASML tiene su sede en los Países Bajos y Carl Zeiss SMT produce columnas ópticas en Alemania, mientras que América del Sur y Oriente Medio y África tienen baja demanda porque ninguna de las dos regiones opera fábricas con capacidad EUV. Los planes de inversión en chips de Arabia Saudita siguen centrados en el empaquetado y el diseño en lugar de la fabricación de obleas de vanguardia en el corto plazo.

Panorama Competitivo
El mercado de películas protectoras EUV está consolidado, con los cinco principales actores que incluyen Mitsui Chemicals, Inc., ASML, S & S Technologies, FST y CANATU. La posición refleja las barreras técnicas entre un prototipo funcional y un consumible calificado para producción. ASML tiene un papel diferenciado como el único fabricante de escáneres EUV y como la empresa que define las especificaciones de calificación de películas protectoras. Mitsui Chemicals, Inc. posee una licencia de producción de películas protectoras de ASML y ha vendido películas protectoras comercialmente desde 2021.
S & S Technologies, FST y Entegris compiten en el mercado de películas protectoras EUV en marco, ensamblaje, protección de máscaras e integración de vainas de retícula. La escala de fabricación de CNT es un área competitiva central hasta 2031, ya que los proveedores buscan traducir el rendimiento de mayor transmitancia en producción comercial confiable. CANATU licenció su tecnología de reactor FC-CVD a FST en octubre de 2025 bajo un marco de producción comercial. En agosto de 2026, CANATU recibió un segundo pedido de reactor CNT100 SEMI de FST, programado para entrega en 2027. Mitsui Chemicals, Inc. está siguiendo una ruta de CNT separada a través de su trabajo con imec y sus instalaciones de producción en Iwakuni-Ohtake.
Sumitomo Chemical Co., Ltd. y SKC están avanzando en sus propias químicas de membrana, mientras que FUJIFILM Group tiene capacidades en recubrimiento de precisión y deposición de nanomateriales. Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. ha protegido las configuraciones de marco de películas protectoras EUV mediante una patente europea que cubre la compensación de expansión térmica[2]Oficina Europea de Patentes, "Película protectora para litografía de ultravioleta extremo, EP2124102," Registro de Patentes de la OEP, epo.org. El uso por parte de FST del enfoque de reactor de CANATU ofrece otra vía para el crecimiento del suministro, pero los proveedores deben cumplir con los requisitos de sala limpia de Clase 1 ISO 14644 y las directrices de adición de partículas SEMI. Estos requisitos favorecen a las empresas que pueden demostrar control de procesos en entornos de fabricación calificados y mantener una calidad estable a través de cada etapa del ensamblaje.
Líderes de la Industria de Películas Protectoras EUV
Mitsui Chemicals, Inc.
ASML
S & S Technologies
CANATU
FST
- *Nota aclaratoria: los principales jugadores no se ordenaron de un modo en especial

Desarrollos Recientes de la Industria
- Agosto de 2026: CANATU aseguró un pedido de Fine Semitech Corporation para un segundo reactor CNT100 SEMI con el fin de ampliar la capacidad de fabricación de películas protectoras de nanotubos de carbono. La inversión respaldó el escalado de la producción de películas protectoras de CNT para litografía EUV, donde las películas protectoras protegen las fotomáscaras mientras mantienen una alta transmisión EUV.
- Febrero de 2026: LINTEC Corporation desarrolló una nueva formulación de recubrimiento diseñada para mejorar significativamente la durabilidad de las películas protectoras de nanotubos de carbono utilizadas en litografía EUV. A través de una investigación conjunta con el Instituto Nacional de Ciencia y Tecnología Industrial Avanzada (AIST), LINTEC Corporation avanzó en las tecnologías de producción en masa para películas protectoras de CNT, apoyando el desarrollo de películas protectoras más duraderas y confiables para el patterning avanzado de semiconductores.
Alcance del Informe Global del Mercado de Películas Protectoras EUV
Las películas protectoras EUV son capas protectoras ultrafinas utilizadas para proteger las fotomáscaras de la contaminación por partículas durante la litografía de ultravioleta extremo. Ayudan a proteger los patrones de las máscaras y respaldan un patterning consistente de obleas durante la fabricación avanzada de semiconductores.
El Mercado de Películas Protectoras EUV está segmentado por tipo de producto, usuario final y geografía. Por tipo de producto, el mercado está segmentado en películas protectoras de membrana, películas protectoras sin membrana y otros. Por usuario final, el mercado está segmentado en fundiciones de semiconductores, fabricantes de dispositivos integrados, fabricantes de memoria, fabricantes de fotomáscaras y otros. El informe también cubre el tamaño del mercado y los pronósticos para películas protectoras EUV en 15 países de las principales regiones. Para cada segmento, el dimensionamiento y los pronósticos del mercado se han realizado sobre la base del valor (USD).
| Películas Protectoras de Membrana |
| Películas Protectoras sin Membrana |
| Otros |
| Fundiciones de Semiconductores |
| Fabricantes de Dispositivos Integrados |
| Fabricantes de Memoria |
| Fabricantes de Fotomáscaras |
| Otros |
| Asia-Pacífico | China |
| India | |
| Japón | |
| Corea del Sur | |
| Países de la ASEAN | |
| Resto de Asia-Pacífico | |
| América del Norte | Estados Unidos |
| Canadá | |
| México | |
| Europa | Alemania |
| Reino Unido | |
| Francia | |
| Italia | |
| Países Nórdicos | |
| Resto de Europa | |
| América del Sur | Brasil |
| Argentina | |
| Resto de América del Sur | |
| Oriente Medio y África | Arabia Saudita |
| Sudáfrica | |
| Resto de Oriente Medio y África |
| Por Tipo de Producto | Películas Protectoras de Membrana | |
| Películas Protectoras sin Membrana | ||
| Otros | ||
| Por Usuario Final | Fundiciones de Semiconductores | |
| Fabricantes de Dispositivos Integrados | ||
| Fabricantes de Memoria | ||
| Fabricantes de Fotomáscaras | ||
| Otros | ||
| Por Geografía | Asia-Pacífico | China |
| India | ||
| Japón | ||
| Corea del Sur | ||
| Países de la ASEAN | ||
| Resto de Asia-Pacífico | ||
| América del Norte | Estados Unidos | |
| Canadá | ||
| México | ||
| Europa | Alemania | |
| Reino Unido | ||
| Francia | ||
| Italia | ||
| Países Nórdicos | ||
| Resto de Europa | ||
| América del Sur | Brasil | |
| Argentina | ||
| Resto de América del Sur | ||
| Oriente Medio y África | Arabia Saudita | |
| Sudáfrica | ||
| Resto de Oriente Medio y África | ||
Preguntas Clave Respondidas en el Informe
¿Cuál es el tamaño del mercado de películas protectoras EUV?
El mercado de películas protectoras EUV se sitúa en 0,85 mil millones de USD en 2026 y se proyecta que alcance 1,60 mil millones de USD en 2031.
¿Qué está impulsando la demanda de películas protectoras EUV?
El crecimiento en la producción de 2 nm, 3 nm y 5 nm, los procesadores de inteligencia artificial y la computación de alto rendimiento están incrementando la actividad de exposición EUV. Los mayores recuentos de capas EUV en DRAM y memoria flash NAND también respaldan la demanda.
¿Qué tipo de producto lideró la demanda del mercado en 2025?
Las películas protectoras de membrana representaron el 59,85% de la demanda en 2025 porque estaban calificadas para la base instalada de escáneres EUV convencionales.
¿Por qué son importantes las películas protectoras de CNT?
Las películas protectoras de CNT han reportado una transmitancia EUV del 95% al 98% y se están desarrollando para herramientas EUV de mayor potencia y Alta NA. Su papel esperado depende de completar el largo proceso de calificación requerido para las fábricas de producción.
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